二手SPEEDFAM半导体(12B-5L)双面研磨机

二手SPEEDFAM半导体(12B-5L)双面研磨机

工厂转让SPEEDFAM(12B-5L)双面研磨抛光机

产品用途
本机主要用于硅片、石英晶体片、锗片、宝石片、陶瓷片、玻璃及其它硬脆材料的双面精密研磨，也适用于其它片状金属、非金属零件的平面研磨。
主要特点
本机采用变频调速，PLC控制、触摸屏参数输入，图形显示各项运行参数，上缸压力采用电气比例阀，闭环反馈控制，压力等级设定方便、、操作简单易行，工作可靠稳定。
整机精度指标
1. 研磨盘平面度:0.02mm
2. 修正轮修研后平行平面度:≤0.0035mm
3. 加工件平面平行度:≤0.003mm/φ100mm
技术参数：
研盘尺寸:φ850mm×φ272mm×40 mm
大研磨直径:φ270mm
游轮参数:英制 Dp12 Z=150
小研磨厚度:0.35mm/φ100mm
大研磨厚度:20mm
下研盘转速 0-50rpm
主电机参数：7.5kw 380V 1450rpm
砂泵参数：0.25Kw 100L/mm
气源压力：0.5-0.6Mpa
设备外形尺寸：（长×宽×高） 1600mm×1200mm×2700mm
质量：约2500kg
加工能力
磨片直径：φ75mm，φ100mm，
单个游星片承片量：8片/φ75mm 5片/φ100mm
总承片量：40片/φ75mm 25片/φ100mm
地址:广东东莞市茶山镇增埗村麒麟城工业区新益大厦宏诚光学