当化学物质通过吸收能量(如热能、光子能量等),可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能,即可使得化学键断裂,形成游离的带有能量的原子或基团。当波段内的真空紫外线(波长范围内184.9nm-253.7nm),促使有机废气物质通过吸收该波段的光子,而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能,使得有机物质得以裂解;再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质,如H2O和CO2等。
工业上常用的活性炭吸附箱、活性炭吸附净化装置常用于有机废气(VOC)的深度净化或有机溶剂回收。以大比表面积、高吸附性能的活性炭作为吸附剂,吸附净化有机废气,排出干净的空气。当活性炭达到饱和临界状态时,采用水蒸汽或者惰性气体进行解吸再生,再生的活性炭继续使用,而解吸出来的有机废气,实际是浓缩了的有机废气流,如果有回收价值,可进一步做回收处理;如果没有回收价值,一般通过RCO催化燃烧进行后的净化处理。
目前比较常用的是利用活性炭吸附和催化燃烧使活性炭脱附从而进行重复使用的组合设备,即活性炭吸附浓缩催化燃烧RCO设备。其原理为先将有机废气用活性炭吸附,当快达到饱和时停止吸附,然后用热气流将有机物从活性炭上脱附下来使活性炭再生;脱附下来的有机物已浓缩(浓度较原来提高几十倍)并送往催化燃烧室催化燃烧成二氧化碳及水蒸汽排出。