日本Fujikura藤仓无尘室对应超精密减压阀RS-8-2-KARS-4-2-KA

日本Fujikura藤仓无尘室对应超精密减压阀RS-8-2-KARS-4-2-KA

日本Fujikura藤仓无尘室对应超精密减压阀RS-8-2-KARS-4-2-KA

压力控制方式是因为采用滚动膜片与计量膜合的伺服平衡方式，可以实现无尘室对应的精密的压力调整的超精密减压阀。

无尘规格

因为部品是不锈钢及氟橡胶，其他的部品全部为非电解镀镍处理，产生的杂质非常少。

歧管安装对应

歧管连接配管可能。

排气口装备

因为排气孔，溢流孔，可以连接排气用配管；排气空气及溢流空气都可以排到无尘室以外。



可以实现感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的控制。

规格

RS-4 RS-8
使用流体 清洁压缩空气
压力设定范围 （MPa） 0.014～0.42 0.014～0.84
进口压力设定范围 （MPa） 1. Max.
排气的有无 有
反复再现性 （％.F.S） ±0.1以内
感度 （％.F.S） 0.1以内
空气消费量 （Nl/min） 3.7以内
使用温度范围 （℃） 5～60
配管连接口径 Rc 1/4、歧管型
压力表连接口径 （Rc（PT）） 1/4
支架 标准配置（歧管型以外）
质量 （kg） 0.41