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按原理和结构特点归类（1）脚踏式容积真空泵靠分子热运动使泵腔工作中容积周期时间转变来完成抽真空功效的是机核式容积真空泵。归属于这种泵的有往复真空泵、转盘式真空泵(包含旋内置式、螺杆式压缩机、罗次式、液环式等)。这种泵中除机械设备增压水泵外，一般均可独立应用。

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真空泵配件中泵油的光滑性 摩擦面的磨擦磨损、外表疲倦磨损以及腐蚀磨损等，都与光滑条件有关。表现佳的泵油有利于抑止腐蚀磨损；能够有效地减轻粘着磨损和外表疲倦磨损；流体光滑剂对摩擦面具有清洗作用，也可减轻磨擦磨损。降低摩擦阻力以节约能源，莱宝真空泵过滤器，减少磨损，以延长机械寿命。

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（3）高真空泵极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵归属于高真空泵。广泛的高真空泵有各式各样扩散泵及分子泵等。（4）超高真空泵极限压力低于10-5Pa的真空泵归属于超高真空泵。超高真空泵重要有各式各样离子泵、低温泵等。