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除前级真空侧无油外,无磨损和免维护是另一个优势。在停电的情况下,通过泵的旋转能量为磁轴承供电。这使得停电?可以很容易地桥接数分钟。如果停电持续时间较长,通过使?用集成的安全轴承,转子将以非常低的速度安全停止。在系?统故障期间,安全轴承关闭转子,以避免对泵造成任何损坏。
电动机/驱动器?
能够提供旋转频率高达?1,500?Hz?(90,000?rpm)?的无刷直流电?动机用于驱动转子。这使得叶片速度是泵送气体所必需的。
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广州潽拓光电科技有限公司维修PFEIFFER Hipace400分子泵,HiPace 400 用于分子束外延 MBE,主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.
分子泵应用 HiPace400: 广泛应用于各个真空行业
镀膜: 光伏, CD/DVD/ PVD, 光学镀膜, 硬质涂层
工业:医学技术、工业检漏、电子束焊接、隔离真空、热处理、灯管制造
研发:核研究,普发高真空分子泵来电联系, 等离子研究,冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
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Pfeiffer 普发涡轮分子泵SplitFlow,分流式涡轮分子泵,抽速 53 l/s 和在中间抽吸装置上抽速0.15l/s(N2),可取代多款涡轮分子泵,独立机械和真空结构设计,特别适合分析研发行业。
普发Pfeiffer Splitflow80分子泵常见故障:
抽速慢、卡死、电流偏大、噪音大、达不到全速运转