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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:
(1)抽速与转速的关系抽速与转速之间的关系大致为S(4-67)。其中:g是由几何形状决定的常数;u是活动刀片的转速。随着速度的增加,泵送速度比直线略慢。这可以通过在抽速较高时对进气管电导率的限制来解释。根据(4-66),随着S1的增加,S将偏离直线。
(2)泵送速度与入口压力之间的关系在分子流的压力范围内,分子泵的泵送速度几乎没有变化。因为分子电导C与分子流动过程中的压力无关;根据公式(4-65),S1仅确定叶片形状,速度和气体类型,并且与压力无关。根据公式(4-66),实际抽速与压力无关。当增加压力以不满足分子流动条件(大约2×101Pa)时,由于大多数分子无法直接与叶片碰撞,泵速会迅速降低。如图4-62的右侧所示,曲线1、2和3对应于压缩比与不同前级泵
(3)的速度和相对分子质量之间的关系。压缩比与速度的平方根和相对分子质量成指数关系(G(4-68在公式中,G是由几何形状确定的参数。测量结果与公式基本一致。图4-63显示压缩比,其中:p代表前级泵端口的压力和力,代表分子,泵的入口压力,在相同速度下,大的气体分子具有大的压缩比,高的极限真空,轻质气体成分,压缩比小,极限真空低,即轻质分子主要处于分子泵的极限真空中;除去氢,氦等轻质分子的能力较弱。重量具有较高的压缩比,这是涡轮分子泵可用于获得清洁真空的物理基础
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近日,真空推出了一款新型涡轮分子泵,便是对此交出的一份答卷。这款分子泵的寿命更长,采用了该公司开发的一项技术,使得真空设备更加耐用,振动水平更低,噪音更小。真空的涡轮分子泵.具体来讲,通过分配几何确定的动平衡孔和渐近的动平衡配重法,利用激光烧蚀把多余的材料去除,如此一来,转子的不均匀质量分布能够在所有点位逐个进行的处理,来达到很佳的动平衡性。
与传统动平衡相比,用激光去除材料要准确得多,剩余不平衡会更低。在这个过程中,材料特性并不会受到影响。可以说,改变了传统的动平衡过程,二手ULVAC分子泵维修改造,将不均匀的质量分布降到了很低。采用传统动平衡(左)和采用激光烧蚀段的激光动平衡(右)动平衡等级对比.据了解,通过现代化的自动平衡系统,涡轮分子泵转子的动平衡品质提高了20%,从而大幅提高转子寿命,并降低泵在运行期间的振动和噪音水平。
值得一提的是,进口ULVAC分子泵维修,激光烧蚀产生的颗粒,在加工过程中即可抽出和过滤掉,随后对激光平衡后的转子进行清洁,由于无需手动拧紧螺丝,确保了表面的很高清洁度,并且也避免了平衡孔中的气穴造成的虚漏现象。用技术加持的涡轮分子泵可以满足更为苛刻的工作环境要求,尤其是在需要更低振动和静音的应用中,ULVAC分子泵维修升级,该系列涡轮分子泵可以大大提升用户体验。
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ARPES光束线客户案例:某光源ARPES光束线真空系统,真空系统是同步辐射光束线的重要组成部分,只有在真空环境中运行,光学元件才能够将同步辐射光传输到试验站,真空系统的作用就是获得并维持合理的真空度,保证光束线的稳定运行.此系统搭配爱发科分子泵80,汕头ULVAC分子泵维修,及配套真空规.
真空系统要求(分子泵):
1.静态真空(无束流):5x10-8Pa,动态真空(有束流):
2.真空系统基本配置:离子泵+无油分子泵+冷阴极真空规管+气体分析仪超高真空系统配置:
涡轮分子泵
接口:DN100CF-F
极限真空:氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80
接口:DN63CF-F
极限真空:氮气压缩比:>1X1011残余气体分析仪PrismaPro
质量数:1-300amu
四极杆直径/长度:6/125mm
很大工作压力FhPa:5X10-4
涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>
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