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主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的工具上泵之一，EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧，增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程使用。

受zhuanli保护的泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂，并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 -EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年维修一次，zui大程度地延长了泵的使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A)，可在洁净室内实现低噪声。

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广州潽拓—Edwards EXT 涡轮分子泵和复合分子泵提供可靠的、无碳氢化合物的高真空和超高真空。EXT使用多级轴流式涡轮机以及磁性陶瓷轴承，可为高临界前级线路压力制程提供无油、无振动的操作，将维护需求降至低。Edwards爱德华nEXT200200D分子泵维修，EdwardsnEXT200200D英国爱德华涡轮分子泵进气法兰口LF100/IOS100，出气法兰口KF25，抽速200L/S，对应的控制器为Edwards EXDC160/Edwards EXDC80。