pfeiffer分子泵维修工厂 潽拓光电

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ShimadzuTMP-V2304LM岛津磁悬浮分子泵维修

概要：

涡轮分子泵是用于将真空容器内部排放呈高度真空的真空泵，通常和辅助泵配套使用。

主要用途：半导体制造装置、产业装置、研究开发设备、其他超高真空设备等。

标准规格如下：

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广州潽拓光电

BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修，爱德华STP-iXA3306CV分子泵

BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内先进的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的STPiXA3305 系列的新技术）。

BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度，也等于BOC STP-iXA3305系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。到目前为止，ALCATEL生产的机械真空泵已逾30万，抽速从0。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小，可作为所有应用工具的一体化解决方案。

BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势：

与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%

可以配置为运行腐蚀性制程

紧凑型设计，pfeiffer分子泵维修，包括完全集成的控制器

创新性自传感磁力轴承系统

数字化 5 轴控制

BOC STP-iXA3306分子泵用途：

溅射

离子注入源，射束线泵送和站

金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物）

电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

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广州潽拓光电----真空泵

真空泵是真空包装机的核心部件，对真空泵的维护保养关系着真空包装机的使用安全和使用寿命，对真空泵的保养一定要做好，以下是广州潽拓光电科技有限公司多年来出来的经验：??

1，必须保持真空泵油在每次使用时是清晰光亮的，真空泵油不能出现浑浊和起泡沫等现象，检查真空泵油静止沉淀时要有乳白色物质，如果有就说明有外来物质进入真空泵油，那么就需要更换新的真空泵油。??

2，每星期检查一次油位和油的颜色状况，如果油位低于标记，要添加油之后再使用，如果油位超过了大标记，说明有外部物质进入，检查油质，根据情况放掉部分油，或全部更换新真空泵油，必要时要做更换气镇阀处理。??

3，每年要更换一次排气过滤器，也可以用压缩空气进行清洗后再使用。?

?4，每隔半年需要清洗一次真空泵内的污垢和灰尘，对风扇轮、通风格栅、冷却翅片以及风扇引擎罩进行清洗，用压缩空气清洗。??

5，对于真空泵油及时进行更换，每月都要进行一次对排气过滤器与进气过滤器进行的检查

VARIAN瓦里安分子泵在高真空和超真空真空应用中的几点优势

1、陶瓷轴承，脂润滑，无需维护，pfeiffer分子泵维修工厂，两个轴承都在排气口端，确保了清洁的真空环境。360度任意角度安装，长寿命，平均无故障运行时间

长达12000小时。

2、转子叶片一次加工完成，不仅自重轻，多大减少了叶子内的应力。机械强度高，转子寿命长。

3、有用专利技术的MacroTorr拖动级，使得瓦里安分子泵对气体，特别是小分子气体，油很高的压缩比