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EDWARDSEPX180L半导体干式真空泵 EPX180L维修
爱德华EPX180真空干泵
EdwardsEPX 系列支持清洁和轻型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX 泵采用已获zhuanli的单轴再生 Holweck® 分级机构,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能,既可集成到制程工具,可以远程安装。重量43.5KG。
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EdwardsPVMK是一种快动式直线或直角杠操作阀。杠杠与自润滑的塑料凸轮活塞相连,通过PTFE轴承促动阀杠和阀板。阀板O型圈槽进行排气以避免气爆。阀设计为可在10-9mbar/8*10-10Torr以上和2100 mabr/1575 Torr (30 psi)以下的压力范围内运行。
爱德华兹pv40mk真空停止阀
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