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BOC STP-iXA3306CV涡轮分子泵维修,爱德华STP-iXA3306CV分子泵
BOC STP-iXA3306 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内先进的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的STPiXA3305 系列的新技术)。
BOC STP-iXA3306分子泵的高度等于 STP-XA2703/XA3203 的高度,也等于BOC STP-iXA3305系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。nEXT泵将我们的成熟轴承技术(油润滑的陶瓷下方轴承和干燥的永磁性上方轴承)以及采用新分子分级技术的改进转子设计结合在一起,以提供改进的抽速和压缩比,提供真正的用户可维护性。
BOC STP-iXA3306分子泵特性与优势:
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
创新性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
BOC STP-iXA3306分子泵用途:
溅射
离子注入源,射束线泵送和站
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
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广州潽拓光电——出售美国安捷伦AGILENT 82850302检漏仪灯丝
灯丝就像白炽灯中的灯丝一样,高于源中的灯丝Zui终也会烧毁,以下操作可以避免灯丝过早损坏:
*当设置采集参数时,设置溶剂延迟,以便在溶剂峰流出时分析器处于关闭状态
*当软件在开始运行时提示“Owverridesolven* delay at the beginging of arun”(运行开始时撤销溶剂延迟)。一定选择“No”
*较高的发射电流将降低灯丝寿命
*如果您在编辑参数屏幕控制MSD。在改变任何灯丝参数之前一定要选择"MSoff"
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基本参数
品牌:Pfeiffer
型号:TCP015
加工定制:是
用途:德国普发Pfeiffer分子泵
产品认证:CCC