医疗专用涡轮分子真空泵_帕纳光电图_二手阿尔卡特

噪音与振动 ：从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。在正常的工作中，泵处于平静的状态，Zui大振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之间,在某些精密设备上得到应用。而测不出易觉察的振动如图5 所示。对涡轮分子泵（巴尔蔡司公司生产的330型涡轮分子泵）进行频谱分析。振动速度V 的单位为 m/s，频率的单位为Hz，计算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 为振幅 m，f 为频率Hz，产生的Zui大振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振动，涡轮分子泵运转很平稳，噪音很小,对某些特殊应用也是问题。

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等待质谱腔内气压恢复至常压后拆下真空系统与质谱腔体之间的连接管路。注意：如果质谱刚关机内部有负压，一定要先从机械泵与质谱联接的波纹管拆开，将气压恢复至常压后才能拆下连接部件，否则有可能将连接部件的O型圈吸入质谱腔体或分子泵，我们在拆卸时出现过这个问题。