反渗透系统1、 由高压泵和反渗透组成2、 可分为一级反渗透和二级反渗透③ 精处理系统1、离子交换和微孔过滤器组成纯水设备的纯水过程2、 EDI和微孔过滤器组成
超纯水设备制备工艺1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)